工藝的效率和產(chǎn)量需要穩(wěn)定的氣流。該氣流可以通過(guò)熱質(zhì)量流量控制器進(jìn)行測(cè)量和控制。作為Bronkhorst High-Tech的產(chǎn)品經(jīng)理,我體驗(yàn)到各種外部因素都會(huì)影響質(zhì)量流量控制器(MFC)的測(cè)量精度和控制穩(wěn)定性。
外部因素的一些示例是:
溫度波動(dòng)
管路壓力波動(dòng)
這些波動(dòng)可能是由于氣瓶中的壓力降低或由于多個(gè)流量控制器之間的串?dāng)_引起的。Bronkhorst如何解決這些問(wèn)題,我們提供哪些解決方案?
與質(zhì)量流量控制器的串?dāng)_
什么是串?dāng)_?當(dāng)多個(gè)質(zhì)量流量控制器緊靠同一管道放置或安裝在同一導(dǎo)軌或框架上時(shí),通常會(huì)發(fā)生串?dāng)_。來(lái)自氣體調(diào)節(jié)器的管路壓力受流量控制器的流量需求的影響。當(dāng)流量?jī)x表更改其設(shè)定值時(shí),它將影響管路壓力。由于這種壓力變化,會(huì)影響常規(guī)流量控制器中的流量測(cè)量部分,從而指示不正確的流量測(cè)量結(jié)果,該流量測(cè)量結(jié)果并不代表通過(guò)MFC的實(shí)際流量。
流量控制器的標(biāo)稱流量越小,對(duì)較大的,并行安裝的MFC的設(shè)定值變化的影響越大。
靜態(tài)和動(dòng)態(tài)壓力補(bǔ)償
靜壓補(bǔ)償是對(duì)緩慢的壓力變化(例如來(lái)自氣瓶的緩慢降低的壓力)的補(bǔ)償。通過(guò)將壓力變送器與質(zhì)量流量控制器集成在一起,以及車載轉(zhuǎn)換算法,可以對(duì)實(shí)際流體特性進(jìn)行實(shí)時(shí)計(jì)算。對(duì)于半熱量測(cè)量,在計(jì)算中使用密度,粘度,導(dǎo)熱系數(shù)和熱容量。在壓力和溫度的影響下,這些特性會(huì)發(fā)生變化。因此,可以測(cè)量和處理實(shí)際溫度和壓力,從而實(shí)現(xiàn)精確的流量測(cè)量和控制穩(wěn)定性。
動(dòng)態(tài)壓力補(bǔ)償是對(duì)快速壓力變化的補(bǔ)償。當(dāng)同一供應(yīng)管線上的高流量質(zhì)量流量控制器更改設(shè)定值時(shí),可能會(huì)發(fā)生這種情況,這是不希望的效果,也稱為“串?dāng)_”。一旦壓力傳感器識(shí)別出這些快速的壓力變化,就將相應(yīng)地調(diào)節(jié)閥門控制,以使流量保持穩(wěn)定。
通過(guò)板載轉(zhuǎn)換實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定的流量控制
車載轉(zhuǎn)換算法可將存儲(chǔ)的校準(zhǔn)液轉(zhuǎn)換為100種車載氣體*(多流體多量程功能)之一。
機(jī)載轉(zhuǎn)換模型中使用實(shí)際測(cè)得的溫度和壓力來(lái)補(bǔ)償工藝條件的變化。這導(dǎo)致更可靠,更準(zhǔn)確的轉(zhuǎn)換和控制穩(wěn)定性。
給用戶帶來(lái)的好處
首先,由于改善了流量測(cè)量和控制的準(zhǔn)確性,因此可以優(yōu)化和更穩(wěn)定地處理過(guò)程,從而提高了過(guò)程良率。
其次,安裝簡(jiǎn)便,因?yàn)椴恍枰_地提供/滿足儀器訂購(gòu)的過(guò)程條件。
第三,由于所供應(yīng)的管路壓力對(duì)于儀器的精度和控制穩(wěn)定性而言不再那么重要,因此需要精度較低的零件或什至減少供應(yīng)管路中的零件。這樣可以節(jié)省例如壓力調(diào)節(jié)器的成本。